X 射线仪器发展现状

X 射线仪器
1. X 射线衍射仪
目前国内在 X 射线衍射仪方面的的技术发展很快。主要表现在新型探测器、模块化、分
析软件的功能强化、先进的 X 射线光学器件等方面。
目前国内各衍射仪生产厂家纷纷研发配备新型高性能探测器，以确保**仪器市场
中的竞争地位。有的公司每不到两年就推出一种新仪器。新型高性能探测器的优点是，
使测试效率提高数倍到上百倍，或提高信噪比和灵敏度，或能得到过去难以获得的特殊
衍射信息。
模块化、多功能化使得简单的切换操作就可以变化功能，从而使一机多功能成为现
实。机械精度和控制指标也大幅度提高。
无论是单晶或多晶衍射仪，其分析软件的功能和性能不断提高，如单晶结构分析算
法，多晶全谱拟合结构优化算法，物相检索算法，反射率算法等方面，均有大幅度的提
高。
天瑞仪器有限公司2006年研发出的探测器UHRD*好能量分辨率为127EV,使全球控测器技术又进了
一个新的发展阶段.
2. X 射线荧光分析仪
*X射线荧光分析仪方面，波长色散分析的进展主要是分析软件性能的提高，即发展
**次谱线的算法和采用基本参数法等，有利于轻元素的定性和定量分析，其它似乎没
有特大的进展。能谱分析仪则在探测器和核电子学方面有重要进展，如 Si－PIN 探测器
和 SDD 探测器已投入市场，它突破了过去锂漂移硅探测器的某些性能的限制，使探测动
态范围大幅度提高，从而使探测灵敏度提高，也使制造成本大幅度降低且使用体积大为
缩小。全反射 X 射线荧光分析法是值得注意的方向，它的特点是其灵敏度可达 ppb 量级。
同时，TXRF 技术又继承了 EXRF方法的优越性，它的定量分析性能方面也有优势。
布鲁克·AXS 公司的 XFlash(R) QUAD 检测器是QUANTAX(TM) QUAD 型超高速-高
灵敏能谱仪（EDS）的核心组件，是目前世界首款用于 EDS 的四通道 40mm 硅漂移检测
器。
3. X 射线晶体定向仪
*X       射线晶体定向仪是用于生产晶体振荡器的仪器。其定向精度决定了所生产及筛选
的每年近百亿片晶片的质量和价格。低档和**的价格相差 10 倍以上。国外的进展也集
中在其精度方面，采用了激光快速测振校正的技术等。
4. 我国 X 射线仪的开发与生产
TXRF 已在国际上得到广泛应用。国内*新推出的 TXRF9 双光路全反射 X 荧光分析
仪，可以对从 11Na 到 92U 的所有元素进行分析，一次可对近 30 种元素进行同时分析。
我国没有单晶衍射仪的产品，但有 4 个厂家生产多晶（粉末）衍射仪，年销售量已
超过 30 台。但质量和性能方面距国外厂家相差较大，主要靠低价格进入低端市场。
我国目前尚无商品化的波谱分析仪。但已能生产能谱分析仪，年产量达数百台，也
有少量出口。主要问题是关键技术部件探测器仍依靠进口。
   我国已有 X 射线晶体定向仪产品。在国内市场中数量上占主要部分.