1.前言 随着近年来机床加工精度的迅速提高,工件的测量精度也达到了****的新高度。为满足测量仪器用户的需求,测量精度等级也正在从微米级向亚微米级,甚至纳米级发展。
面对这种挑战,三丰开发出LEGEX系列超高精度三坐标测量机,并作为下一代三坐标测量机的一种尝试投放市场。以下将结合LEGEX系列产品的规格和性能特点,对LEGEX开发过程中使用的一些基本技术进行介绍。 2.如何实现超高精度 2-1 基本结构 为确保测量精度,采用固定桥式•可移动式工作台,以*大限度地减少阿贝偏置误差。同时采用FEM分析,从而确保实现*佳产品结构。 2-2 长度测量技术 作为长度测量系统的3个基准轴上搭载了*小分辨率0.01μm的新开发的线性编码器系统,和具有0.01x10-6/oC超低线性膨胀系数的晶体玻璃尺。因为晶体玻璃尺的热膨胀系数几乎为0,并且相当耐热,从而确保能够实现超高精度。在图2中图示出其检测原理。
4.LEGEX性能评估 根据ISO 10360-2三坐标测量机检查规格对LEGEX 12128和LEGEX9106进行了检查,其检查结果分别如下面图6和图7所示。
图中红线为精度的规格值,在30mm至1000mm的测量范围内对各测量点重复测量5次后得出以下结果。