随着国民经济的持续稳步增长和生产技术的不断**发展,生产工艺对生产环境的要求越来越高。超大规模集成电路的前后道工序,各种显示器的制造,各种光学零部件的制造和装配以及制药行业(GMP的推行)、医院手术室、食品工业等都对生产环境提出了更高的要求,不仅仅要保持一定的温湿度,还要保持一定的洁净度。 因此,近年来国内净化工程在数量上显著增加。其中超大规模集成电路制造或**显示器(如TFT、PDP)等的制造,因对空气洁净度要求很高,生产技术国内暂无自主开发能力等原因,这方面的超净工程在数量上不是很多。数量上占**优势的是洁净度要求不是很高的净化工程。这些工程以电子及光学的装配、制药为代表,洁净度一般为0.5um十万级~千级(局部百级)。这些工程有新建,有改建,而后者居多。
净化工程存在的问题
灵活性不足,生产工艺难以调整
这种情况在电子行业居多。目前洁净室多以金属壁板做隔断及吊顶。风口在金属壁板上开孔安装,灯具则直接安装于金属吊顶下。这样的安装方式是很难改变的。电子工业由于技术发展极为迅速,一种产品或生产工艺几年之内就可能淘汰,原有的厂房需要重新布局以适应新的生产工艺,而洁净室恰恰已很难改动。
能耗大,造成初投资及运行费用上升
这种情况也多见于电子行业。多数电子厂房规模大,生产厂房往往几万平方米甚至更大。其中大部分可能是洁净室。目前国内净化空调系统以常规净化空调机组,加上送回风管及末端的HEPA或ULPA组成。因厂房面积大,送回风管很长,送风机压头必然选得较高,造成空调系统用电量很大,运行费用很高。而在我国目前供电系统尚处于垄断经营局面下,一个厂房如果用电量太大(如超过6000KVA),业主就得投资建造一座35KV的变电站,投资非常巨大。有时候整个厂房的用电量正好处于临界点上,增加用电量,就得造变电站,减少一点用电量,就省了一大笔投资。
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