1.系统
室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例，二则取决于房间的工作参数。
2.洁净度与换气次数
房间的洁净度取决于单位时间的换气次数，因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求，再决定净化系统的技术参数。
3.结构
为了保证气流几乎不受干扰，就必须进行结构设计，必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。
4.设计方案
要确定设计方案，必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑。发尘量大的车间不宜采用地面送风形式，洁净度要求高的车间应尽可能远离其它车间。
5.材料
作为洁净室顶棚，墙面和地板的材料必须是不宜破裂、不易沾颗粒，以及几乎不起尘的材料，另外根据房间不同的工作条件，还必须考虑材料的化学性能是否稳定。
6.压力和气流
为了保证房间的洁净度，必须防止外面污染气流进入室内，要达到这个目的，房间里必须保持正压。为了获得所要求的房间压力，必须补充适当的新鲜空气。
7.辅助设备
必要时还得安置一些辅助设备：如新风口的空气指示仪，隔断上的传递窗等。这些设备必须适合房间的要求，并且必须真正了解其功能.
8.人和物的控制
人和物是洁净室的主要尘源，因此必须充分控制，例如：在进入净化房前，所有的人都要经过人净系统，更换无尘衣，并且要接受净化系统功能的基本教育。
9.给排水和送风装置及电源
根据所要运行的车间，提供必须的给排水装置，送风装置和电源，这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计，同时不得有勃于空气净化系统。
洁净室的规划 一般性的规划重点
洁净室的整厂规划(Turn KeyProjects)(如表3-1)，因涉及范围极广，需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划，尽管不少洁净室规划，多需要就于既有的建筑物，然而，为避免失误应尽可能事先确认下列事项：1. 洁净度等级。 2. 室压之平衡措施。
3. 温湿度要求。 4. 机器设备之必要性。
5. 确定生产流程。 6. 局部排气之必要性。
7. 日后扩充弹性。 8. 足够维护保养空间。
9. 空调送风方式。 10. 员工休息区之安排。
11. 设施与动力之配置。 12. 室内净高与楼板载重。
13. 设备空间与管道间。 14. 门窗宜少，气密性要佳。
15. 静电、振动及噪音。 16. 生产线与活动线少交叉。
17. 公害、污染与防灾。 18. 安装及运转成本之衡量。
洁净室的动线规划
所谓[动线]，是指人员、原料之入室路线，与人员与成品的出室路线。规划时，要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染(CrossContamination)。
要点：
1． 作业者、材料、化学药品等动线勿集中。
2． 制造装置之出入，需不对作业产生大影响。
3． 超洁净室四周，宜设缓冲区(即较差洁净区)。