美国联邦标准FS209E中的洁净等级

等级名称

等级限值

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

5μm

容积单位

容积单位

容积单位

容积单位

容积单位

国际单位

英制

单位

m³

Ft³

m³

Ft³

m³

Ft³

m³

Ft³

m³

Ft³

M1.0

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10

0.283

/

/

M1.5

1

1240

35.0

265.0

7.5

106

3

35.3

1

/

/

M2.0

3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

/

/

M2.5

10

12400

350.0

2650

75

1060

30

353

10

/

/

M3.0

35000

991.0

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

/

/

M3.5

100

/

/

26500

750

10600

300

3530

100

/

/

M4.0

/

/

75700

2140

30900

875

10000

283

/

/

M4.5

1000

/

/

/

/

/

/

35300

1000

247

7

M5.0

/

/

/

/

/

/

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

/

/

/

/

/

/

353000

10000

2470

70

M6.0

/

/

/

/

/

/

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

/

/

/

/

/

/

3530000

100000

24700

700

M7.0

/

/

/

/

/

/

10000000

283000

61800

1750