概述：
1. 工程范围：设备采购及安装。
2. 主要参数：
尺寸：1200mm*600mm
风机：EBM交流风机
滤网效率：
核心区：MPPS效率≥99.99995%（@0.12μm）。
支援区：MPPS效率≥99.9995%（@0.12μm）。
3. 验收条款：
配合洁净室第三方认证 。
4. 厂商需提供公司实绩(半导体、TFT面板厂等相关产业).
5. 厂商需提供公司年营业额。
6. 厂商需提供售后服务计划。
7. 厂商需提供产品交期及施工期。
8. 厂商需提供报价。
一．FFU产品要求：
1.风机和超高效(高效)过滤器安装在锌铝合金涂层钢板的机壳里。
2.尺寸大小适合1200x600mm 的吊顶骨架
3.面风速范围：0.45m/s±0.1 m/s
4.机外余压： 100Pa@0.45 m/s
5.工作台上方600mm*大单机噪声≦52dB(A) @0.45 m/s，整体噪音需通过洁净室第三方证。
6.风机采用EBM交流风机,风机连续使用寿命不小于50000小时
7.FFU在0.45m/s风速运行时，过滤器阻力不能高于130Pa。
8．FFU箱体不能贴任何消音棉，以避免以后产生挥发性物质影响产品品质。
9. 高效过滤器效率：
核心区：MPPS效率≥99.99995%（@0.12μm）。
支援区：MPPS效率≥99.9995%（@0.12μm）。
10．滤纸使用进口（H&V、北越、lydall等）滤纸，以保证品质。
11.机箱结构：四角受支撑后，可承受大于80kg的重量站立在装置的上方。
12.五档调速控制。
二．FFU验收要求：
配合洁净室第三方认证。
FFU选用流程规范
FFU选用流程规范
FFU选用流程规范
FFU选用流程规范
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