椭圆偏振光谱仪简称椭偏仪，是一种用在探测薄膜厚度、光学常数及材质微结构的光学测量设备。椭偏仪可测的材质包括：电介质、半导体、聚合物、金属、有机物、多层膜物质…由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种**吸引力的测量设备。
椭偏仪涉及领域有：半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科研、生物、医药等。
早期的研究主要集中于偏振光及偏振光与材质相互作用的物理学研究及仪器的光学研究。硬件的自动化和软件的成熟大大提高了运算的速度，成熟的软件提供了解决问题的新方法，因此，椭偏仪现在已被广泛应用在研究、开发和制造过程中。计算机的发展使椭偏仪在更多的领域得到应用。