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精密测试技术的测量尺寸继续向着两个极端发展
精密测试技术的测量尺寸继续向着两个极端发展
所谓两个极端就是指相对于现在测量尺寸的大尺寸和小尺寸。通常尺寸的测量已被广为注意,也开发了多种多样的测试方法。近年来,由于国民经济的快速发展和迫切需要,使得很多方面的生产和工程中测试的要求超过了我们所能测试的范围,如飞机外形的测量、大型机械关键部件测量、高层建筑电梯导轨的准直测量、油罐车的现场校准等都要求能进行大尺寸测量;微电子技术、生物技术的快速发展,探索物质微观世界的需求,测量精度的不断提高,又要求进行微米、纳米测试。
(1)大尺寸的测量方法如工程大地测量方法是指将大地测量的某些原理和方法移植和改进到机械工程测量中,产生新的测量方法,还有其它一些测量大尺寸的方法,如激光跟踪干涉三维尺寸测量系统。
(2)纳米测试技术从生产制造的趋势看,每十年要求容许误差降低1/3,因此要求测量具有越来越高的精度,并可溯源到国际标准(ISO)。当然,纳米测量也多种多样,有光干涉测量仪、量子干涉仪、电容测微仪、X射线干涉仪、频率跟踪式法珀标准量具、扫描电子显微镜(SEM)、扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、分子测量机M3(molecularmeasuringmachine)等。
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