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空气过滤器标准和效率

空气过滤器标准和效率

随着微电子工业的发展, 对高效过滤器要求越来越严, 德国标准DIN24183率先提出
"*容易穿透粒径"(Most Penetrating Particle Size, 简称MPPS)法, 并采用*容易穿
透粒径来检测空气过滤器的效率. 其实不同的滤料和不同的滤速*容易穿透粒径是
不同的, 一般在0.11um-0.25um范围内. 然后以此粒径测试其效率或用于扫描实验.
MPPS是目前*严格的试验标准,
具体测试一般采用DOP方法.

DOP(邻苯二甲二辛酯)法: 实验尘源为0.3um单分散相DOP液滴, 测量粉尘仪器为光度
计, 以气样的浊度差别来判定过滤器对DOP颗粒的过滤效率. 目前逐步采用大流量激光
粒子计数器或凝结核计数器对过滤器整个出风面进行扫描检验.

中国标准	欧洲标准 EN779-1993	美国DOP法 0.3um效率/%	ASHRA标准计重法效率/%	ASHRAE标准比色法效率/%
粗效过滤器	G1		< 65
粗效过滤器	G2		65-80
粗效过滤器	G3		80-90
中效过滤器	G4		>=90
中效过滤器	F5			40-60
高中效过滤器	F6	20-25		60-80
高中效过滤器	F7	55-60		80-90
高中效过滤器	F8	65-70		90-95
高中效过滤器	F9	75-80		>=95
亚高效过滤器	H10	> 85
亚高效过滤器	H11	> 98
高效过滤器A	H12	> 99.9
高效过滤器A	H13	> 99.97
高效过滤器B	H14	> 99.997
高效过滤器C	U15	> 99.9997
高效过滤器D	U16	> 99.99997
高效过滤器D	U17	> 99.999997

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敏感元器件静电压标准

HBM模式(人体模式) ESD STM5.1-1998

级别	静电压范围
Class 0	< 250V
Class 1A	250-<500V
Class 1B	500-<1,000V
Class 1C	1,000-<2,000V
Class 2	2,000-<4,000V
Class 3A	4000-<8,000V
Class 3B	>=8,000V

MM模式(机器模式) ESD STM5.2-1999

级别	静电压范围
Class M1	< 100V
Class M2	100-<200V
Class M3	200-<400V
Class M4	>=400V

CDM模式( 放电模式) ESD STM5.3.1-1999

级别	静电压范围
Class C1	< 125V
Class C2	125-<250V
Class C3	250-<500V
Class C4	500-<1,000V
Class C5	1,000-<1,500V
Class C6	1,500-<2,000V
Class C7	>=2,000V

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