SWAGELOK推出超高纯度气动阀。美国Swagelok半导体服务公司在上海国际会议中心举行媒体见面会,宣布已面向半导体产业推出一款全新的阀产品---Swagelok@AID系列阀。据了解,系列阀是应用于原子层沉积(ALD)工艺的超高纯度气动阀。ALD技术是半导体产业的一项新兴沉积技术,也是半导体处理技术中发展速度*快的一个领域。为了达到ALD的严格要求,Swagelok的ALD系列阀具备了以下优势:该阀的制动速度极快,制动时间不超过5豪秒;具有极高的循环寿命---在产品评估是循环次数超过了25000000。“中国市场是Swagelok系列产品销售的重要基地,大中国地区代表着Swagelok服务公司的未来,我们期待着在大中国市场实施开发计划并对发展前景表示看好。”Swagelok服务公司总裁PhilRoberts表示。 据悉,Swagelok服务公司现已在上海,北京,深圳,成都等12个城市设立了分销网点,以便于向半导体产业推广新产品和提供及时,便利的供应服务。
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