住友臭氧发生仪器 SGVP-440

住友臭氧发生仪器

简单介绍

住友臭氧发生仪器住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。住友臭氧发生仪器

产品描述

住友臭氧发生仪器

住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。

住友臭氧发生仪器

住友臭氧发生仪器应用：

1. 半导体器件

2. Si/复合晶圆

3. FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）

4. 光罩

5. 发光二极管

住友臭氧发生仪器具体规格

臭氧气体流速

1.6L/min [at 210g/m3(N)]

臭氧气体供应压力

*大0.3MPa

冷却水温度

20°C±2°C

尺寸

W210mm x D350mm x H500mm

重量

17kg

功率

200-220VAC/100-110VAC, 1-phase

优势：

高浓度；高达400g/m3（N），高压；*大0.3Mpa

内置式小机组，功能少，价格低

高压耐受，长寿命放电单元

快速启动，快速响应

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