美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件

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产品名称：美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件
产品型号：美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件
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简单介绍

美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件 TESCOM高纯产品一览 TESCOM 的集成系统部件共有５个系列。 1、1/4"节点压力调节阀 2、1/2"节点压力调节阀集成气体系统部件 IGS减压调节阀（符合SEMI Doc.PR3.1&PR3.3-0699要求）产品系列

产品描述

美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件

美国TESCOM公司高纯产品--集成气体系统部件

TESCOM高纯产品一览

       TESCOM 的集成系统部件共有５个系列。

1、1/4"节点压力调节阀

2、1/2"节点压力调节阀

集成气体系统部件

IGS减压调节阀（符合SEMI Doc.PR3.1&PR3.3-0699要求）

产品系列及特性

输入压力

输出压力

允许内泄漏*

流量范围

阀体材料

           12系列袖珍型IGS调节阀
12单级，超高纯度，袖珍型系列

·1-1/2"、1-1/8"底座
150PSIG

28"Hg-15,30,

<1×10-9

30或120
316L不锈钢

·5Ra或10Ra微英寸抛光
　

60,100PSIG

　

SLPM
VAR

·电解抛光或精密电解抛光
　

　

　

　
　

·固定隔板设计
　

　

　

　
　

·内部无弹簧、无螺纹
　

　

　

　
　

·12F系列带一体式滤清器
　

　

　

　
　

       14-11系列手动IGS阀

12单级，超高纯度，袖珍型

·自由阀芯设计
150PSIG

28"Hg-15,30,

<1×10-9

30SLPM
316L不锈钢

·5Ra或10Ra微英寸抛光
　

60,100PSIG

　

　
VAR

·内部无螺纹
　

　

　

　
　

·电解抛光或精密电解抛光
　

　

　

　
　

       14系列气动IGS阀

IGS隔板阀（符合SEMI Doc.PR3.1&PR3.3-0699要求）

产品系列及特性

输入压力

允许内泄漏*

Cv

阀��材料

14系列，手动

·14-11 1/4圆型旋钮
250PSIG

<1×10-9

.35
319L不锈钢VAR

14系列，手动

·14-13 1/4圆型旋钮，LOTO
125PSIG

<1×10-9

.35
319L不锈钢VAR

14系列，气动

·14-21正常关闭
125PSIG

<1×10-9

.35
319L不锈钢VAR

·14-31正常关闭
　

　

　

　
　

*单位为大气压·毫升/秒氦气

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