清洁排气・真空由于ISP真空泵的泵体不使用润滑油和封水,不存在润滑油的逆扩散,因而能获得干净的真空。
轻巧・紧凑采用双层重叠的独特设计,产品轻巧紧凑。
低振动・低噪音由于在旋转叶轮的1周期内,吸气·压缩·排气工序连续完成,因而压缩转矩的变动很小,实现低振荡·低噪音性能。
适用于广泛的压力领域采用双层重叠方式,动态非常稳定,可适用于从大气压到*后压力的广泛压力领域。无论是大气压还是*后压力的动力变化少,可实现大气・ 真空的重复连续运行。
新功能・新结构通过改进空气闪喷器功能・密封,提高了水蒸气·异物的排泄·耐久性·维护周期
・*后压力是全程压力测量值。Ultimate pressure is measured as total pressure.・噪音值是在无音室中的测量值。Noise is measured in an anechoic room.・( )内尺寸为吸气口、排气口为纵向的情况。Figures in parentheses are dimensions when inlet and outlet are placed vertically.
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