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产品详情
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  • 产品名称：半导体材料气体检测仪

  • 产品型号：XPS-7
  • 产品厂商：日本新宇宙
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简单介绍：
xps-7半导体材料气体只要更换传感器单元就可以检测对象气体;半导体材料气体检测仪XPS-7用盒式传感器单元无需进行检测器校正; 半导体材料气体检测仪XPS-7大幅度削减成本和维护时间
详情介绍：

xps-7半导体材料气体 xps-7半导体材料气体


检测对象
毒气/半导体材料气体
检测范围
根据规格而定
检测原理
定电位电解式
检测方式
自动吸引式
应用行业
石油化工、半导体制造



XPS-7对象气体一览表
型号 气体 F.S 型号 气体 F.S 型号 气体 F.S
XPS-7NH NH3 100ppm XPS-7GH GeH4 1ppm XPS-7HS H2S 50ppm
XPS-7SH SiH4 25ppm XPS-7CL CL2 5ppm XPS-7CO CO 250ppm
XPS-7DC SiH2CL2 25ppm XPS-7CF CLF3 1ppm XPS-7DS Si2H6 25ppm
XPS-7AS AsH3 250ppm XPS-7HC HCL 25ppm XPS-7F2 F2 5ppm
XPS-7PH PH3 1ppm XPS-7HF HF 10ppm XPS-7OZ O3 1ppm
XPS-7BH B2H6 500ppm XPS-7HB HBr 10ppm  
XPS-7SE H2Se 250ppm XPS-7NO NO 100ppm

产品描述：半导体材料气体检测

01.产品特点

●  只需要更换传感器单元就可以检测各种对象气体

●  用盒式传感器单元无需进**体检测器校正

●  可以大幅度削减成本和维护时间


02.产品用途

●  半导体工厂/石油化学工厂等

●  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测


03.对象气体

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04.产品参数

图片.png

※1.根据气体种类不同，满量程也会略有不同。

※2.同一测量条件下。
※3.根据不同环境条件、使用条件、保存期限、电池厂家，有时会有不同。
※4.AC转接器、数据记录收集套装、以及EC-7不属于CE范围。

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