产品系列及特性 输入压力
64-3600单级压力、超高纯度、低衰减
输出压力
允许内泄露
流量系数
阀体材料
·10Ra微英寸抛光
600PSIG
30,60,100,
<1×10-9
0-100
316L不锈钢
·电解抛光或内表面电解抛光
150PSIG
SLPM
·固定隔板设计
·可供Hastelloy镍合金部件
·Cv=.15