产品系列及特性
12 单级压力、超高纯度、袖珍型
输入压力
输出压力
允许内泄露
流量系数
阀体材料
·自由隔板设计
150PSIG
28"Hg-15,30,
<1×10-9
30SLPM
316L不锈钢
·5Ra或10Ra微英寸抛光
60,100PSIG
VAR
·内部无螺纹
·电解抛光或精密电解抛光
·12F系列带一体式滤清器
*单位为大气压·毫升/秒氦气