智泰白光干涉仪 sis
产品简介
产品特点:1 、非接触式测量:避免物件受损。2 、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm。3 、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。4 、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。6 、扫描仪:采用闭环控制系统。7、工作台:气动装置、抗震、抗压。8 、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。 应用领域:
产品详细信息
产品特点:
1 、非接触式测量:避免物件受损。
2 、三维表面测量:表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
3 、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率:垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字信号处理器:实现测量仅需要几秒钟。
6 、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、抗震、抗压。
8 、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
应用领域:
1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工