[摘要]介绍一种采用电调制红外光源的新型非分光红外气体传感器。该传感器通过采用电调制红外光源，省却了传统方法中的机械调制部件；同时采用了高精度干涉滤光片一体化红外传感器以及单光束双波长技术，配合易拆卸的镀金气室及数据采集系统，可以实现SO2、NO、CO2、CO、CH4、N2O等气体的实时测量。
一、前言
随着我国对环保的重视，气体分析仪器在国外得到了迅速的发展。主要表现在无机械调制装置，采用新型红外传感器及电调制光源，在仪器电路上采用了低功耗嵌入式系统，使得仪器在体积、功耗、性能、价格上具有以往仪器无法比拟的优势。在我国具有很大的市场，特别是作为连续污染物监测系统（CEMS）以及机动车尾气检测仪器在国内需求广泛，也是国家“十五”期间需要重点解决的环境分析仪器技术。NDIR红外气体分析仪作为一种快速、准确的气体分析技术在实际应用中十分普遍。国外NDIR仪器占有率在70%左右，国内NDIR气体分析仪的主要厂家大都采用国际上八十年代初的红外气体分析方法，如采用镍锘丝作为红外光源、采用电机机械调制红外光、采用薄膜电容微音器或InSb等作为传感器等。由于采用电机机械调制，仪器功耗大，且稳定性差，仪器造价也很高。同时采用薄膜电容微音器作为传感使得仪器对震动十分敏感，因此不适合便携测量。此类仪器一般为合资生产，在我国价格在3-8万元左右，价格因素也限制了NDIR仪器在我国的广泛使用。随着红外光源、传感器及电子技术的发展，NDIR红外气体传感器
二、NDIR气体分析基本机理
当红外光通过待测气体时，这些气体分子对特定波长的红外光有吸收，其吸收关系服从朗伯--比尔(Lambert-Beer)吸收定律。设入射光是平行光，其强度为I0,出射光的强度为I，气体介质的厚度为L。当由气体介质中的分子数dN的吸收所造成的光强减弱为dI时，根据朗伯——比尔吸收定律：dI/I=-KdN，式中K为比例常数。经积分得：nI=-KN+α (1) ，式中：N为吸收气体介质的分子总数；α为积分常数。显然有N∝cl，c为气体浓度。则式(1)可写成：
I=exp(α)exp(-KN)=exp(α)exp(-μcL)=I0exp(-μcL) (2)
图1 NDIR红外气体分析示意图
式(2)表明，光强在气体介质中随浓度c及厚度L按指数规律衰减。吸收系数取决于气体特性，各种气体的吸收系数μ互不相同。对同一气体，μ则随入射波长而变。若吸收介质中含i种吸收气体，则式(2)应改为：
I=I0exp(-l∑μi ci) (3)
图1为NDIR红外气体分析原理图：以CO2分析为例，红外光源发射出1-20um的红外光，通过一定长度的气室吸收后，经过一个4.26μm波长的窄带滤光片后，由红外传感器监测透过4.26um波长红外光的强度，以此表示CO2气体的浓度，因此对于多种混合气体，为了分析特定组分，应该在传感器或红外光源前安装一个适合分析气体吸收波长的窄带滤光片，使传感器的信号变化只反映被测气体浓度变化。
三、电调制NDIR红外气体传感器关键技术
在设计传感器的光学系统部分时，为了减少红外传感器微弱信号的衰减以及外界信号干扰，将前置放大电路也一并放在光学部件上，并采取了一定的电磁屏蔽措施。为了使气体红外吸收信号具有较好的分辨率，在进行结构设计时，红外光源、气室、红外探测器应设置在同一光轴上。此外为了使得信号足够大，可以使用椭圆型或抛物线型反射镜。红外光源由稳流供电,供电电压和电流根据使用的光源不同而不同。工作时，传感器根据预先设定的调制频率发出周期性的红外光，红外光源发出的红外光通过窗口材料入射到测量气室,测量气室由采样气泵连续将被测气体通入测量气室，气体吸收特定波长的红外光,透过测量气室的红外光由红外探测器探测。由于调制红外光的作用红外传感器输出交流的电信号，通过其后的前置放大电路放大后在一次经过高精密放大整流电路，得到一个与被测气体浓度对应的直流信号送入测控系统处理。红外传感器内有温度传感器探测其工作环境温度，并在其外壳上有微型加热装置，通过测控系统控制传感器的温度。红外传感器信号经过测控系统，并经数字滤波、线性插值及温度补偿等软件处理后，给出气体浓度测量值，并将其浓度信号通过RS232串口输出。此外，在传感器的控制系统内，除RS232外，同时设计有液晶显示(支持240*128)、微型打印、键盘输入、气泵控制、报警输出等接口。因此本传感器也类似一个测量气体浓度的“主板”，只须添加一些“外设”如液晶、打印机等，即可成为一个完整的气体分析仪。
本研究主要采用了以下关键技术：
1.红外光源及其调制
传统的气体分析仪采用连续红外热辐射型光源，如镍锘丝、硅碳棒等红外加热元件，由于其热容量大，通常采用切光片对光源进行调制。因此需要一个同步电机带动切光片旋转，其缺点在于存在机械转动。抗振性差，攻耗大，不适合于便携设备；其次为保证调制的频率，还需要严格同步的电机以及驱动电路，使得系统复杂化，成本也大大增加。
本研究采用了国际上*新研制的一种电调制红外光源。该光源采用导电不定型碳（CAC）多层镀膜技术，热容量很低，因此升降温速度很快，其调制频率*高可以达到100Hz。红外光源发射窗口上安装有透明窗，一方面可以保证发射的红外光波长在特定范围内，适合于对常规的气体如CO2、CO、CH4、NO、SO2等气体进行测量。此外也可以阻止外界环境对光源温度的影响。
2.镀膜气室
传统气室采用了与外支撑一体化设计，具有制造容易﹑安装方便等优点，但受外界温度波动影响较大；其次，由于被分析气体成分复杂，具有一定的腐蚀性，如SO2﹑NOx等，长时间使用后气室极易被污染，直接影响测量精度。本研究采用了气室与外支撑分离结构安装时只需将气室固定安装在支撑结构的中心即可。此种结构设计保证了该部件易于装卸﹑更换；同时由于与外支撑分离，进一步减小了外界条件的影响，使仪器能适应复杂环境下工作。此外原来一些需要较长气室的传感器，采用以往方法加工镀膜工艺十分困难，采用此法后将十分容易，成本也将大大降低。
3.红外探测器
红外探测器是该分析仪的核心部件，NDIR气体传感器的测量精度很大程度取决于传感器的性能高低。本研究采用高灵敏度红外传感器，并且在其封装上固定安装有针对不同气体的窄带干涉滤光片。通过使用固定有不同波长滤光片的的红外传感器，可以实现对不同气体的测量。为了确保红外探测器得到较强的稳定信号，本研究设计了一种红外探测器定向轴，即使在前置放大板上焊接的红外探测器位置有一定的偏差，本传感器也可确保与红外光源和气室位于同一光学中心轴上。
红外探测器接收红外光产生的信号十分微弱，极易受外界的干扰，因此稳定可靠的前置放大电路是仪器的关键，本研究采用了高精密、低飘移的**级模拟放大电路，并采用了窄带滤波电路。通过示波器的跟踪表明，本研究采用的前置放大电路具有精度高、漂移小、响应快的特点。前置放大出来的信号通过二级放大电路，直接输出一个与气体浓度对应信号，并送入测控系统，通过非线性校正和补偿后得到气体浓度。
4.传感器测控系统
为了实现NDIR气体传感器的测量、控制以及自动标定等功能，需要一个合适的微控制器来管理传感器。传感器测控系统通过采集红外输出信号及测量标准气体曲线，采用非线性校正算法可以直接得到测量气体的浓度，并通过测控系统的串口每1秒向外部设备发送测量浓度数据，同时也可以根据传感器测量量程和实际测量数据，通过测控系统的的D/A控制，输出与浓度成正比的12位精度电压信号。
为便于采用此传感器组成完整的气体分析仪，在测控系统多余的数据线和地址线基础上，设计了液晶显示驱动模块、打印驱动模块、键盘输入模块、气泵控制、报警等接口，用户可以通过安装这些标准模块，快速形成一套完整的气体分析仪器。
通过采用以上技术，NDIR红外气体传感器的结构比以往仪器将大大简化，仪器功耗也大幅度降低（只有以往的1/4），传感器的成本也不到以往技术的1/4。此类传感器可以实现模块化和标准化，因此更加适合在我国广泛使用。
四、气体传感器性能测试
为验证传感器性能，作者对传感器的进行了长期的测试。以下分别介绍采用CO2和SO2传感器测量的结果，CO2传感器气室长度8cm，内经8mm，传感器的量程为2%。试验采用标准钢瓶配气，浓度为0.98% CO2，平衡气为N2，流量为1.5L/Min，通过采用PC采集测控系统串口数据，在PC上保存数据并进行数据的自动分析，测量时间24小时。试验结果表明，测量准确度可以达到2%以上；SO2传感器气室长度13cm，内经8mm，传感器的量程为8000ppm。试验采用自行配置的SO2气体，浓度为4200ppm，平衡气为N2，流量为0.5L/Min，同样通过采用PC采集传感器串口数据，在PC上进行分析，测量时间12小时（为**考虑，从晚8：00到**日早8：00）。试验结果表明，测量准确度同样可达到2%以上。对于传感器的响应时间，由于采用了较高的调制频率，传感器一般在同如气体15秒左右就可以达到平衡，因此响应速度很快。
五、结论
NDIR红外气体传感器是一个典型的光、机、电一体化系统,涉及环节较多。本研究通过使用了当前先进技术，研制了新型的NDIR红外气体传感器。
（1）通过使用国际上*新发展的电调制红外光源，省却了以往NDIR仪器复杂和昂贵的电机调制系统,大大降低了系统成本和功耗。
（2）使用了新型的红外气室，工艺简单、安装更换方便，受环境的影响更小。
（3）采用了新型一体化的红外探测系统和高精密前置放大电路，并采用新型的微控制器测控系统，大大降低了NDIR仪器的成本，并可实现模块化和标准化，因此更加适合在我国广泛使用