AWM40000系列包括不带放大和放大/信号处理的信号。气体流量传感器有一个由加热器与温度敏感元件组成的薄膜隔热的电桥式结构。该电桥式结构对流过芯片的空气或其他气体流量有灵敏和快速的反应。

●AWM43600V为6SLPM器件

●最新的微加工技术最高检测流量0-6SLP

●工作温度可至85℃

●最高可承受150PSI的共膜压力

●快速响应，低电流损耗

●零点和满量程高稳定性

●干燥的无腐蚀性气体

●输出信号为1~5V