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ESD和污染控制相辅相成

ESD和污染控制问题都被认为是影响收益和可靠性的重要因素。尽管污染长期以来被认为是影响半导体、磁盘驱动、航天、药业和医疗器械行业，现在另外的一些行业，例如自动化、食品，也开始应用污染控制。ESD控制也在应用中午到相应的增长。事实上，今天，ESD（静电放电）控制被认为是减少污染的一个广为人知的方法，产生了巨大的效益。

尽管ESD和污染控制行业的有很多**专家，这个领域还是有很多未知领域。因这两门学科之间的差异会产生很多误解。因为每门学科都有不同的规则，很多问题看上去就会变得很复杂。事实上，ESD或污染控制上的很多问题都可以有简单的办法解决。以下简述一下：

1、控制洁净室内物体表面的电量对污染控制有很大帮助。因此，可以选择低摩擦电压的材料或可以接地的材料。但是，**这两种方法是不够的。离子风机的使用给了更多的办法。在对ESD敏感的材料和工序中可以使用离子风机来降低污染。

2、在洁净室里的静电敏感材料和工序中，控制洁净室中的静电放电可以使ESD降到济小。

3、在混合流的洁净室中如果没有配备风机和压缩空气源，其气流不利于离子风机的使用。因此，在混合流的洁净室中济好安装风机和压缩空气离子发生器。但是，风机和压缩空气离子发生器会让污染重新分配产生有害影响，需要将静电控制和污染控制综合考虑。

4、在单向流的洁净中，将离子发生器安装在靠近天花或HEPA的地方能很好地发挥作用，特别是能控制表面污染。相对的，单向流洁净室和洁净台中的气流能引起隔离效应或气流层，隔离效应和气流层能影响离子发生器的放电时间性能。在离子发生器的安装过程中必须考虑洁净的气流影响。

5、天花、卧式的离子风机可能不能提供快速的放电时间。当静电敏感设备靠近低电压时，只有少数离子发生器能够有良好的ESD性能。在这种情况下，平衡ESD失效和污染失效的要求就变得不稳定了。

6、当用于需污染控制的区域时，所有的防静电材料和设备都需经过污染性能的检测。同理，用于防静电区域的所有的污染控制需要的材料和设备也需经过ESD性能的检测。

7、对于污染控制和ESD控制区域，济好能使用连续监控系统。在工作台中，这些的使用能更好地进行控制以济小化工艺中的差错。

在这两个方面想做改进的话，首先要理解污染和ESE控制的基本原则并定好必须达到的要求。弟二要选择解决污染和ESD问题的有效的分析方法，特别在对于材料的选择上。

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