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静电放电的控制（5-2）

很多洁净室用户不允许出现静电。磁盘驱动器制造商正在努力把洁净室内与静电有关的问题降到零，半导体制造商、平板显示器制造商、医疗电子产品制造商和制药厂商都紧随其后。本节将介绍静电放电系列知识之二——局部电离的平衡。
对许多洁净室来说，通用室内离子发生器只是完整的电离系统的一部分。Heymann说：“洁净室运营商过去常常会说如果有一台离子发生器的话，一切与ESD有关的问题都迎刃而解了，但是事实恰恰相反。与ESD技术有关的问题是只是简单地安装上离子发生器，并不能保证它能够持续工作**、一星期，甚至一个月。”

现在，灵敏度阀值更低，这迫使洁净室运营商加入通用室内电离系统，这些系统能够把空气的电压从1,000伏降到100伏。在工艺设备内部和周围关键区域加入额外的离子发生器，能够把空气的电压降至10伏以下。工作站离子发生器，包括条型离子发生器、吹风机和压缩气体释放设备就是适合在这些规定的工作区域中使用。无论离子发生器是安装在操作面的上方，还是直接安装在操作面上，这个把它与对静电放电非常敏感的产品分开的距离远远小于与室内系统的距离，一般不到1米。

对要求非常严格的环境来说，电离吹风机可用来取代脉冲式直流系统，但是，这种系统的电压来回摆动，不能调整到零伏。可是问题在于，尽管吹风机可以消除静电，但是，它会干扰洁净环境内的其他的元件。Steinman说：“吹风机会产生空气紊流，还会成为污染源。我们需要在污染控制和ESD控制之间协调，保证达到要求的水平。”

为了避免吹风机的不利作用，IonSystems公司采用了单晶硅材料生产的发射器点，按照Steinman的说法，它几乎可以达到“ISO1类标准”。

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