人体造成的污染
皮肤:人类每4天皮肤碎屑完全脱落一次(完全换肤)
人类释放10,000个皮肤碎屑/分钟(平均大小30*60*3µm)
毛发:人类经常连续脱落直径为50-100µm的毛发睫毛、眉毛、发胶、凝胶体。
唾沫滴液:含有钠、酶、盐、钾、氯化物和食物微粒。
外用衣物:微粒、纤维、硅石、纤维素、各种化学品、**。
化妆品:不应在洁净室使用可产生大量的微粒,**被化妆品污染的衣服既困难,费用也很高。
人类静止、坐下或站立:产生1,000,000≥0.3µm的微粒/分钟。
人类的头和身体运动时:产生1,000,000≥0.3µm的微粒/分钟。
人类以0.9英里/小时(0.4m/s)的速度行走:产生5,000,000≥0.3µm的微粒/分钟。
洁净室
洁净室,亦称为无尘室或清净室,是指空气传播微粒受到控制且具有一个或一个以上清洁区的房间。
空气洁净室:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
动态洁净室:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
洁净室等级:世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍和比较。
209E与209D的济大不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以M字头表示,如M1,M1.5,M2.5,M3…以此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数字是以每立方公尺≥0.5µm之微尘粒子数字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘离子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,日本则采用公制,即每立方公尺为单位,以0.1µm微尘粒子为计数标准。日本标准之表示方法以表示,济好的等级为,济差的为,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。
洁净室控管之项目:
1. 能除去空气中飘游之微尘粒子
2. 能防止微尘粒子之产生
3. 温度和适度之控制
4. 压力之调节
5. 有害气体之排除
6. 结构物与隔间之气密性
7. 静电之防制
8. 电磁干扰预防
9. 可靠因素之考虑
10. 节能之考量
洁净室之分类
洁净室之构成
1. 天花板系统:包括吊杆、纲梁、天花板格子梁
2. 空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等
3. 隔墙板:包括窗户、门
4. 地板:包括高架地板或防静电地板
5. 照明器具:包括日光灯、黄色灯管等
6. 洁净室之建筑主体构造,一般是钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,必须满足如下之条件:
A、不会因温度变化与振动而发生裂痕
B、不易产生微尘粒子,且很难附着粒子
C、吸湿性小
D、 为了维持室内之湿度条件,拒绝缘性要高