洁净棚又名洁净工作棚,无尘洁净棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较**之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.0米左右,覆盖面积约50m2以下,支柱可加装活动轮,可为弹性运用。
无尘洁净棚说明
洁净度
洁净区域尺寸(feet)
所用FFU数目
风量(m3/h)
换气次数
100级
4×4×7
2
2300
FFU满布形成层流
4×8×7
4
4600
6×8×7
6
6900
6×12×7
9
10350
6×16×7
12
13800
1000级
160
6×20×7
3
3450
8×8×7
8×12×7
10000级
1
1150
80
6×20 ×7
8×16×7
粤公网安备 44030502001432号