静电保护工作区EPA的控制(ESD-protected area)--材料和设备的静电电压受到控制的工作环境。为保障静电敏感器件(ESSD)免受静电伤害而采用必要的防静电材料和设备建立和装备起来的区域,通常有明显的防静电警示标志。进入防静电工作区域的人员,必须严格遵循防静电作业规范。又名静电放电控制区域 ECA(ESD controlled area)。
在通常的电子设备生产、组装和维护现场,各种静电产生材料和由他们所产生的电场是很普遍的现象,这些静电产生材料和由其所产生的电场有可能导致静电敏感器件的损伤。因此,在静电敏感器件的整个使用过程都要对其进行保护。
在静电敏感器件的存储和转送过程中,具有屏蔽性能的导体容器可以提供必要的保护。但是,对于静电敏感器件也还存在着屏蔽容器外的操作。在这种情况下,静电敏感器件非常容易受到损伤,因此,有必要提供一个可靠的工作区域。防静电工作区(EPA)正是为此目的而设计。为了确保工作台的防静电可靠,它必须满足以下要求:
⑴ 防静电区域内的所有电子元器件都要视为静电敏感器件对待。
⑵ 对于任何在保护状态之外(处于法拉弟笼之外)的静电敏感器件的操作,都必须在防静电工作区内进行。
⑶ 在防静电工作区之间的非防静电区域传送的静电敏感器件必须处于可靠的保护状态。
⑷ 防静电工作区的设计应能保证静电敏感器件不易接触到仪器设备的金属接地外壳。
⑸ 防静电工作区内禁止放置工作不必须的静电产生材料,如未作防静电处理的塑料袋、盒子、泡沫、带子、笔记本、纸片、个人用品等物品,这些材料必须距离静电敏感器件30厘米以上。
⑹ 所有在工作台上使用的清洁剂,溶剂,涂覆材料、气雾剂等辅助材料都必须经过静电控制负责人的批准。
2 EPA划分和环境要求
2.1 EPA划分
防静电区域的划分以该区域内是否可能出现静电敏感物品为准则,只要可能出现静电敏感物品,则应定义为防静电区,否则可定义为非防静电区。防静电区域的边界范围由工艺部门与区域防静电责任人共同确定。
防静电工作区(EPA)包括但不限于以下区域: IQC检验区域、单板加工及检验区域、单板测试及检验区域、部件装配及检验区域、整机装配及调测区域、维修区域、试验区域、理货区域、器件和物料分发区域、仓储区域等。
划分EPA的同时应该根据该区域中操作的物料的静电敏感级别和生产时存在静电放电的风险程度进行EPA等级的划分,参见弟3.1节的要求。
2.2 EPA的基础环境要求
在进行EPA环境设计时,为达到静电防护的要求应遵循以下原则:
⑴ 抑制静电荷的积累和静电压的产生。
⑵ 可靠、迅速、有效的消除已产生的静电荷。
⑶ 确定静电防护所应达到的程度。如yi级EPA内静电电压绝dui值应小于100V。
因此,EPA必须具有如下的基本环境要求:
⑴ 明确的区域界限和防静电警示标志。
⑵ 对区域内的所有导体包括人员可靠接地。
⑶ 消除一切不必要的静电产生源。
⑷ 运用12英寸原则,即ESSD器件必须远离静电源至少30厘米处。
同时,需要考虑如下周边环境的防静电性能:
墙壁面料应使用抗静电型墙纸,一般情况下允许使用石膏涂料或石灰涂料墙面,禁止使用普通塑料制品。
天花板材料应选用抗静电型材料制品,一般情况下允许使用石膏板制品,禁止使用普通塑料制品。
工作区内使用的门帘、窗帘、区域隔离帘等应是防静电材料制成,表面电阻值应小于1×1011Ω,禁止使用普通塑料和化纤制品。
2.3 EPA的温湿度要求
防静电工作区有必要进行温度和湿度的控制,湿度控制是静电防护的一项关键措施。EPA的温湿度控制要求:
⑴ 生产制造和维修区域属于静电高风险区域,温度和湿度控制要求:
温度:20~30℃
相对湿度(RH):45~75%
⑵ 其他防静电工作区环境的温湿度应满足一般要求:
温度:20~30℃
相对湿度(RH):30~75%
⑶ 产品物料对环境温湿度有特殊要求时,应根据物料的特性需求和实际条件采取相应的局部环境保证措施。
⑷ EPA内应配备温度计和湿度计,并在每班次上班之前作一次记录。当相对湿度超出规定的范围时,必须通知工艺人员协调动力维护、环卫等部门采取适当的加湿或抽湿措施,如往地面喷洒适量水(符合可靠要求)、使用加湿器或抽湿机等。
3.静电防护区域等级分类及基本的ESD控制措施
3.1 静电防护区域等级分类
所有进行静电敏感物料生产、操作、周转、存储的区域都是静电防护区域,都必须进行静电电压的控制,保护物料免受静电损伤。
静电敏感器件主要有集成电路(IC)、场效应管(MOS管)、光电器件、厚膜、LCD、板卡及其组件、产品,高静电敏感器件主要有CMOS、GaAsFET等高频高速器件。
在静电防护区域根据物料的静电敏感等级需要采用不同的控制措施使得静电放电控制有效而且成本zui低,需要对静电控制区域进行控制等级的划分。科泰公司EPA划分为两个等级,yi级EPA和二级EPA。EPA等级的划分依据为存在静电放电危害的严重程度和产品的静电敏感级别。
yi级EPA为静电放电严格控制区域,生产加工和操作被评估为静电高风险的区域以及静电高敏感级别的产品的制造区应划分为yi级EPA。一般单板加工、单板测试、单板/模块组装区域,高频度、大量使用静电敏感级别高于Class 1B的器件的产品制造区和使用静电敏感级别高于Class 1A的器件为产品的极关键器件的产品制造区应定义为yi级EPA,如无线产品和传输产品制造区。yi级EPA采用全mian严格的静电防护措施。
二级EPA为基本的静电放电控制区域,涉及静电敏感物料的各个生产操作区域至少要定义为二级EPA,必须实施zui基本的静电放电控制措施。
3.2 静电防护区域基本的ESD控制措施
yi级EPA和二级EPA的划分应在综合评估的基础上进行,他们的控制措施要求按照下表实施:
ESD控制措施
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yi级EPA
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二级EPA
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静电电压控制标准
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小于100V
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小于250V
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区域封闭性
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要求
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不要求
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出入口单向控制
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可选
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不要求
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防静电标识
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要求
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要求
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防静电地板或地垫
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要求
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要求
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防静电桌垫
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要求
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要求
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防静电腕带
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要求
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要求
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防静电工作手套、指套
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要求
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要求
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防静电工作服
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要求
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要求
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防静电工作鞋
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要求
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要求
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防静电工作椅
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要求
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要求
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腕带测试仪和人体电阻测试仪
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要求
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要求
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ESD自动测试记录仪
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要求
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不要求
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防静电烙铁
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要求
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要求
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防静电吸锡器
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要求
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要求
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静电产生材料禁止带入EPA
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要求
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要求
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非防静电包装的拆包
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区域外操作
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区域外操作或独立工位操作
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离子风静电消除器
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要求
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可选
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接地系统监控仪
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要求
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不要求
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用于产品的常用装配、调试及辅助工具防静电
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全部要求
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部分要求
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防静电周转工具
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要求
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要求
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防静电包装材料
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要求
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要求
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静电电压表和表面电阻测试仪
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要求
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可选
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防静电文件夹
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要求
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可选
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防静电作业指导书袋
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要求
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可选
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防静电液
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可选
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可选
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防静电状态卡
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要求
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可选
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yi级和二级EPA区域的划分及其控制措施主要适用于生产制造系统,其它实体如实验室可以引用但不限于此。