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浅谈微量气体分析技术

空分生产自深冷法诞生以来已有百年历史。开始时仅仅是以从空气中提取氧气和氮气为目的，因此对气体产品纯度仅在97%~99%即可满足使用要求。其质量检测方案也是以经典的化学吸收和化学比色法为主体的分析方案。但是，随着空分生产规模的不断扩大以及对稀有气体应用的需求及开发，空分生产逐渐走上一条综合利用的道路。在我国，自六十年代初开始的氩气提取以焊接为首要目的，氦的提取是以潜水用合成空气及其他**科研需求为主要目的的。当时氩和氦的纯度仅为99%，后来又提高到99.99%。此时，原有气体分析方案不能满足对99.99%纯气分析的需要，于是以气相色谱法为主体的新分析方案诞生了。而且，将99%气体纯度分析采用的直接测量主组份含量的监测方案，更新为以测杂质成份含量为主的质量监测方案。这就把空分气体分析方案提到了一个新的阶段。
　　自七十年代起，我国开始大力发展电子工业，电子工业把对于气体产品的纯度要求提高到了一个新的阶段。大规模集成电路在制造过程中，不可缺少的基础材料就是超纯气体，包括：高纯氩、高纯氮、高纯氧、高纯氢、合成空气以及各种化学气体等。其纯度必须在99.999%以上，而且对其中每种杂质含量都有具体的明确的技术指标要求。而电子工业的发展又带动了其他工业和科研部门的发展，因此，对气体纯度及品种的要求也就越来越高。同时，以质量控制为主要目标的分析方案必须更新，研制推广了许多新的分析方案和分析仪表。这些分析仪表与以前的分析仪表相比，有着很大不同，无论在检测灵敏度方面，还是决定着仪表性能的多种技术指标方面都有着许多**性的改变，此时分析仪表的检测灵敏度已达到1ppm~10ppm。
　　自八十年代开始，随着钢铁工业的飞速发展及对空分规模的不断大型化的需求，新建的大中空分设备不仅越来越多，而且生产规模越来越大。同时，国民经济各部门对高纯气体（＞99.999%）的需求也日益增多。因此，空分生产受到气体产品市场对高纯气生产的推动，众多大中型空分设备都在研发综合利用，从空分直接生产高纯气体以满足日益扩大的市场需求。
　　在高纯气普及生产的情况下，气体分析方案和气体分析仪表也被提到一个大推广大普及的阶段。在八十年代以前，国内只有少数中小型空分设备生产高纯气体，并且能够掌握高纯气中微量杂质分析方案和分析技术。而在九十年代以后，几乎每台新建大中型空分都要生产一种以上的高纯气体，这就给普及并提高气体分析技术创造了前提条件。

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