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关于压力传感器误差的探讨
传感器技术作为现代信息社会的三大技术之一,当应用到工业自动化领域的时候就变成了压力传感器。压力传感器进行信号传感时难免会有误差产生。如果减小这些误差的产生次数。我们知道合理进行压力传感器的误差补偿是其应用的关键。因此减小误差很重要。压力传感器主要有偏移量误差、灵敏度误差、线性误差和滞后误差,本文将介绍压力传感器四种误差产生的机理和对测试结果的影响,同时将介绍为提高测量精度的压力标定方法以及应用实例。
目前市场上压力传感器种类丰富多样,这使得设计工程师可以选择系统所需的压力传感器。这些压力传感器既包括*基本的变换器,也包括更为复杂的带有片上电路的高集成度传感器。由于存在这些差异,设计工程师必须尽可能够补偿压力传感器的测量误差,这是保证压力传感器满足设计和应用要求的重要步骤。在某些情况下,补偿还能提高压力传感器在应用中的整体性能。
a. 偏移量误差。由于在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。
b.灵敏度误差,产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,那么压力传感器灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。
c.线性误差。这是一个对初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线。
d.滞后误差:在大多数情形中,压力传感器滞后误差完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。
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