洁净室与静电

（1）洁净室

（2）洁净室的静电
由于洁净室的洁净度要求，室内使用
①大量的高绝缘介质装饰材料、地面、墙、门、顶棚、隔断、工作台、椅子等等，这些材料摩擦容易起电带电，不易泄漏释放。
光刻间塑料地面500V~1000V，扩散间塑料地面500V~1500V，瓷砖地面也有500V~1500V，塑料墙纸700V，塑料顶棚OV~1000V，金属活动皮芏椅面500V~3000V。
②人穿洁净工作服、鞋、步行或工作时，与不同物质设备器材摩擦要产生静电，人、衣服、鞋都会带电。
人穿尼龙衣、着塑料胶底鞋缓慢地在清洁的地板上走动，人身上带7000V~8000V静电压。
在乙烯基地板上行走可带1200V（10%~20%RH）、250V（65%~90%RH），在地毯上行走可带35000V（10%~20%RH）、1500V（65%~90%RH），晶片装配线，人穿的工作服可达10KV。
③空调气流经过初效过滤器，中效过滤器，高效过滤器，净化出口气流是带静电的。
铝板送风口、回风口500~1000V。
④大量的绝缘器材、装备和工具，也是重要的静电电荷源。晶片装配生产线：晶片装料盒35KV，有机玻璃盖8KV，石英制品1.5KV，晶片托盘6KV，丙烯酸脂盖20KV，台桌面10KV，塑料存贮柜30KV，玻璃纤维晶体载料盒滑过聚丙烯桌面带10KV。
总之：洁净室的洁净度要求越高，静电带电便越严重。