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天津市某电子厂房净化空调工程改造设计
天津市某电子厂房净化空调工程改造设计
 2006年09月26日　　　　
   摘  要  本文在天津某电子厂房原有的净化空调工程基础上，对工艺布置和净化空调系统提出改造方案，并对方案设计进行了简单的介绍。
    关键词  净化空调  改造设计
    Aif conditioning and cleaning system reconstruction
    design of a electronic factory in Tianjin
    By FAN Weijun，SU Jiurong，GUO Chunmei and LI Yan
    Abctract：  Based on the existing air conditioning and cleaning system，this article presents recon- srucion plan for technolgical arrangement and air conditionig andcleaning system，and introduces the plan design in brief．
    Keywords：  Air conditioning and cleaning  Reconstruction desing
    *Environment Engineering Co．Tianjn  lnstitute of Urban Construction,China
    1  原有净化空调工程情况
    1．1    简况
    该厂房位于天津市开发区，建于1995年，主要生产半导体芯片。厂房共建三层，需改造项目位于二层，系统的平面布置如图1所示。系统总面积1510m2，   其中空调面积385m2，  净化面积 1125m2，净化级别除黄光室为千级外，其余均为万级。热源为厂区生产的0．3MPa的蒸汽，冷源采用螺杆式冷水机组，冷冻水出水温度为7℃，回水温度 12℃，冷水机组和空气处理机组位于一层机房内，空气处理机组采用组装式净化用空气处理机组一台，风机风量为6000m3／h，机外余压为 800Pa，送风段设置两条1250mmx800mm的送风管，向系统各房间送风。
    1．2  系统存在的主要问题
    (1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构，其余房间均为敞开式，净化区域与非净化区混合在一起，系统较为混乱，难以控制和调节，净化区域的洁净度不能达到要求；
    (2)非净化区域的扩散炉，经测定表面温度可达50℃，散热量非常大，在原有设计中存在空调送风量不足问题，造成扩散炉周围区域的温度高达37℃，并且回风循环使用，不利于节能；
    (3)酸洗槽的排风量不足，平均断面风速为 O．1m／s，酸性物质存留在室内环境中，不能有效地排出，严重影响室内的卫生和生产环境；
    (4)在厂房洁净区入口处的风淋室风速为 12m／s的要求，需要更换循环风机。
    2  改造方案
    针对系统运行中出现的的以上情况，经与甲
  统风量计如表1所示。K-1系统经计算按照扩散炉的散热量计算送风量，根据文献【2】工业炉的散热量，其中室内设计温度取30℃，空调送风温度取20℃，经计算扩散炉的总冷负荷为69kW，空调送风量为20700m3／h根据计算结果JK-2系统仍然采用以前的空调机组(系统机组外阻力为700Pa)，其余两个系统分别采用新空调机组，其中因为机房位置的限制，JK-1系统空调机组设在原来的空调机机房内，K-1系统空调机组选用吊顶式空调机组，置于夹层内。
    (2)JK-1系统在黄光室的入口增设风淋室，因无物流通道，设置传递窗，以保证室内的洁净皮。
    (3)JK-2系统主要存在两个问题：**是酸洗槽的排风罩设在酸洗槽的侧面不利于有害气体的排出，改造设计中将排风罩设在酸洗槽上方；**酸洗槽的排风量根据生产要求，槽的断面风速达到0．25m／s，当所有酸洗槽同时工作时，排风量高达32200m3／h，所以对排风的能源进行回收，设置防酸性热回收装置，风量排出前先与新风进行热量交换进行热量交换，节约运行费用。
    (4)K-1系统，因为护散炉间人员极少进入，全年的运行方案为：夏季因扩散炉的散热量较大，系统做成全排式；过渡季节当室外温度低于送风温度时，停止制冷，将新风作为冷源直接送入室内；冬季因为排风温度较高，可用排风预热新风到设计温度后送入室内，*大限度地节省运行费用，避免能源的浪费。
  3  改造后的使用效果
  系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求，在动态下检测，厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。尤其是系统改造前问题比较突出的几个区域，黄光室达到动态千级；护散炉区域经过彩钢板围护，其周围区域温度达到达设计要求；酸洗槽改为上抽风，断面风速均达到0．3m／s; 风淋室的初、高效过滤器更换后，阻力降低，更换循环风机后风速提高，出口风速达到26m／s。
  4  结论
  本工程改造前主要特点表现在系统工艺布置不合理(未对净化区及非净化区时行明确划分)、混用挣化及非净化区空调系统，不符合“规范”的要求；酸洗槽排风量不足；护散炉区因送风少及未设局排设施导致环境温度超标；改造后将生产工艺布局做了适当调整，按照规
  范的要求，对净化区及非净化区单独设置空调系统；加大酸洗槽排风量，同时采用了热排风问收装置，对补充新风进行预热 (预冷)，节约能源，降低运行费用。建议在今后的空调工程设计中，对于生产环境有要求的工艺，既应该按照生产过程布置工艺，同时还要考虑到有利于空调净化系统的调节和控制，保证生产环境的可靠性。
    参考文献： 1  《洁净厂房设计规范》GB50073-2001 2  电子工业部第十设计研究院主编《空气调节设计手册》，中国建筑工业出版社，1995 (本文已被浏览
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