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氦质谱检漏仪性能试验方法
日期：2025-01-06 02:39
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摘要：
敏感度、反应时间、**时间、工作真空度、极限真空度及仪表入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。
①敏感度及其校准
氦质谱检漏仪敏感度，通常指仪表的*小可检漏率。记为 qL.min ，即在仪表处于*佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的*小漏孔漏率。所谓“*佳工作条件”是指仪表参数调整到*佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指 检漏仪表 本身的抽气系统仍在正常抽气。仪表的反应时间不大于 3s 。所谓“*小可检”是指检漏信号为仪表本底噪声的两倍时，才能认定有漏气信号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪表本底噪声，一般指在 2min 内输出仪表的***动量。
如果检漏时用辅助系统抽气 ( 即对示漏氦气有分流 ) 。或用累积法 检漏 时，给出仪表*小可检氦浓度 ( 即浓度敏感度 ) 。记为γ min ，能较方便地估计检漏效果。
浓度敏感度校准系统中应用**量计测出通过针阀 2 进入仪表的空气流率 qL.o ，则仪表浓度敏感度。
②反应时间、**时间及其测定
反应时间是指仪表节流阀完全开启，本底信号为零 ( 或补偿到零 ) 时，由恒定的氦流量使输仪表信号上升到*大值的 (1-e-1) 倍 ( 即 O.63) 所需要的时间，记为τ R 。
**时间是指输出仪表信号稳定到*大值后，停止送氦，其信号下降到*大值的 e-1 倍 ( 即 O.37) 所需要的时间，记为τ C 。
③工作真空、极限真空及入口处抽速
质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪表性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪表的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪表入口处抽速。
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