产品详情
简单介绍：
日本爱发科ULVAC 低温泵 CRYO-U 極低温冷凍機:
アルバック・クライオは、ブルックスオートメーション（旧ヘリックス・テクノロジー・コーポレーション）の技術をベースにULVAC独自の技術を結集して、クライオポンプCRYO-Uシリーズの開発・改良を進めてまいりました。
详情介绍：
日本爱发科ULVAC 低温泵 CRYO-U 極低温冷凍機：
真空ポンプ（クライオポンプ） アルバック・クライオ株式会社
クライオポンプ CRYO-Uシリーズ／極低温冷凍機
アルバック・クライオは、ブルックスオートメーション（旧ヘリックス・テクノロジー・コーポレーション）の技術をベースにULVAC独自の技術を結集して、クライオポンプCRYO-Uシリーズの開発・改良を進めてまいりました。
エレクトロニクス、光学、太陽エネルギー、核融合、宇宙開発ほか、各方面に数多くご使用いただき、実績を積み重ねてまいりました。
4インチから30インチ口径までの標準機種を取り揃えるとともに、次の用途に適したポンプと極低温冷凍機も用意しております。
●スパッタ装置用に大排気容量型
●エッチング、CVD装置などのために耐食性型
●極高真空用にベーカブルタイプ
●分析機器、実験装置などのために低振動型
●水分の効率良い排気のために、スーパートラップTS型
●スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサで複数のポンプを運転するマルチシステム
●急速常温再生システム
●4K冷凍機
さらに、バンドヒータ、ノイズに強いクライオ温度計、水分の多い場合の排気にスーパートラップ、自動再生装置など豊富なオプションを揃えております。
なお、お客様の重要な生産ラインに組み込まれることをふまえて、国内30カ所以上のサービス拠点よりニーズに即応できるサービス体制を敷いて、ご満足いただけるよう心がけております。
クライオポンプの機種と標準仕様
特 長
●他のポンプでは得られないクリーンな真空が得られます。
●すべての気体の排気ができます。
●液体窒素が不要なので安いランニングコストでご使用いただけます。
●どのような方向にも取付けられます。
●コンパクトなデザインで軽量です。
●操作が簡単です。
●イオンポンプやターボ分子ポンプにくらべて大きな排気速度が得られます。
用 途
●真空蒸着装置
●核融合装置
●スパッタリング装置
●表面分析装置
●イオン注入装置
●スペースチャンバ
●半導体プロセス装置
●加速器
●その他清浄な高真空、極高真空が要求される装置
Vacuum Pump (Cryopump) ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
Cryopump CRYO-U Series / 4K CRYOCOOLER
ULVAC CRYOGENICS has developed and improved cry-opump CRYO-U series, based on ULVAC’s vacuum technol-ogy and extreme low temperature technologies of Brooks Automation Our cryopumps have been used for various fields such as electronics, optics, photovoltaic, nuclear fusion and space development, etc.
We offer standard various models from 4 inches to 30 inches and other types of cryopump are also available:
· High pumping speed type for sputtering systems
· Anti-corrosive type for etching and CVD systems
· Bakeable type for ultra-high vacuum
· Non-feron Cryogenic Cold Trap CRYO-TS series
· Low-vibration type for analytical and experiment equipment
· L type pump for reducing the overall height, and a com-pressor for multiple pump operation
· Quick regeneration system
· 4K CRYOCOOLER
UR4K03, UR4K10
In addition, Band Heater, Cryo Meter, Super Trap for evacu-ation of water vapor, automatic regeneration system and other optional parts are also available. And ULVAC CRYOGENICS provides rapid-response service for our customers.