产品详情
简单介绍：
日本爱发科ULVAC 低温真空泵 CRYO-U：
CRYO-Uシリーズ（CRYO-U4H/CRYO-U6H/CRYO-U8H/CRYO-U8H-U/CRYO-U8HSP/CRYO-U10H/CRYO-U12H/CRYO-U12HSP/CRYO-U16/CRYO-U16P/CRYO-U20P/CRYO-U22H/CRYO-U30H/CRYO-TORRシリーズ）
详情介绍：
日本爱发科ULVAC 低温真空泵 CRYO-U：
真空ポンプ（クライオポンプ） アルバック・クライオ株式会社
クライオポンプ CRYO-Uシリーズ
クライオポンプ CRYO-Uシリーズ
CRYO-TORRシリーズ
用語の説明
●*大流量
クライオポンプが連続排気をしている状態で15Kクライオパネルの温度が20Kに達する*大の気体流量。
●排気容量
アルゴン：15Kクライオパネルに凝縮したアルゴンが80Kシールド、80Kバッフルのどちらかに接触し、それ以上排気できなくなったとき、それまでに排気したアルゴンの量。
水素：水素の排気速度が初期排気速度の80％に低下したとき、それまでに吸収剤に吸着した水素の量。
●冷却降下時間
クライオポンプを40Paまで粗引して起動させ、15Kクライオパネルが20Kになるまで冷却するのに要する時間。
Vacuum Pump (Cryopump) ULVAC CRYOGENICS INCORPORATED
Cryopump CRYO-U Series
Features
· Ultra-clean vacuum
· Pumping all gases
· Lower operating cost
· Mounted in any orientation
· Compact and light weight
· Quiet, easy to operate
· Higher pumping speed
· No liquid helium or nitrogen
Applications
· Vacuum evaporation system
· Nuclear fusion facilities
· Sputtering system
· Surface analysis equipment
· Ion implantation system
· Space chamber
· Semiconductor manufacturing system
· Accelerator
· Equipment which require clean high and ultra-high vacuum
Hydrogen capacity at the below adsorp-
tion equilibrium pressure.
*1 5 x 10–8 Torr
*2 5 x 10–6 Torr
Terms
· Maximum throughput
Upper limit of the gas through-put at which the temperature of the 15 K cryopanel increases to 20 K when the cryopump is pumping continuously.
· Pumping capacity
Argon: quant i ty pumped by condensation on the 15 K cry-opanel unt i l the condensed layer makes contact to the 80 K shield or 80 K baffle and the
cryopump any more argon. Hydrogen: The hydrogen quan-tity pumped by absorption on
the absorbent until the pumping speed for hydrogen is reduced
to 80 % of its initial speed.
· Cooling down time
The cooling down time until the 15 K cryopanel cools down to 20 K when the cryopump is started from the rough pressure of 40 Pa (0.3 Torr).