产品详情
简单介绍：
日本爱发科ULVAC 油扩散泵 PFL：
真空ポンプ（油拡散ポンプ） 株式会社 アルバック 規格品事業部
油拡散ポンプ PFLシリーズ
ULVACのPFL型油拡散ポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。
详情介绍：
日本爱发科ULVAC 油扩散泵 PFL：
真空ポンプ（油拡散ポンプ） 株式会社 アルバック 規格品事業部
油拡散ポンプ PFLシリーズ
ULVACのPFL型油拡散ポンプは、長年の研究・豊富な製作経験を活かして、設計・製作されています。
日本爱发科ULVAC 油扩散泵 PFL【特 長】
●同一口径の他のポンプに比べて、より大きな排気速度をもっています。
●油蒸気の逆流が少ないポンプです。
●所要電力、油量が少なく効率のよい経済的なポンプです。
●ヒータの交換、修理が容易です。
●溶接技術は極めて優れており、かつヘリウムリークディテクタによって完璧な洩れテストが実施されていますので、機械的にも、真空的にも信頼度は*高です。
日本爱发科ULVAC 油扩散泵 PFL【原理・構造】
拡散ポンプは本体、加熱部およびジェット部より構成され、ボイラ内で加熱された作動油は、蒸気となって各段のジェットより高速度で噴射されます。高真空側の気体は噴射された蒸気中に巻込まれ（拡散）上段のジェット部より下段のジェット部に運ばれ圧縮されながら排気口より補助ポンプ側に排気されます。噴射した蒸気は本体の内壁で冷却、凝縮し
てボイラに戻ります。この作用を繰返しながら排気が行われます。ボイラ部には分留板があるため、戻ってきた作動油は環流してボイラ外周部で高い蒸気圧成分が、また中心部で低い蒸気圧成分が蒸発し、常に作動油の分留ができる構造となっています。
外形寸法
仕様の範囲
●水冷バッフル、封止フランジ、冷却水用ホース口、ボルトナットは付属していません。（オプション）
●輸送、保管時の防塵のため封止蓋をつけております。
Vacuum Pump (Oil Diffusion Pump) Components Division, ULVAC, Inc.
Oil Diffusion Vacuum Pump PFL Series
Close attention to material selection and manufacturing techniques ensure reliable operation and a very low cost of ownership for the PFL Series.
Features
• Excellent pumping speed
• Low back-streaming of the operating fluid
• Minimized power required and fluid capacity to ensure low operating cost
• Easy maintenance
• Reliable pump body construction
Working Principle and Structure
The oil diffusion pump consists of a pump body, boiler heater and 3-stage fractionating jet stack assembly. The working fluid (oil) is heated in the boiler, vaporized and streams out of each stage of the jet stack at high speed. Gases on the high vacuum (inlet) side of the pump are captured in the jet vapor by diffusion, and are carried from upper to the lower jet stages which compresses them in the process. These pumped gasses are then exhausted through the outlet port to the fore pump. The vapor stream from the jet stack is cooled and condensed on the inner walls of pump body, and returned to the boiler. By repetition of this process, evacuation is accomplished. The weir plate provided in the boiler permits return and recirculation of the working fluid, allowing the fractional distillation of the fluid to be a continuous process. (High vapor pressure components in the working fluid are evaporated at the outer zone of the pump housing, while low vapor pressure components are evaporated at the inner zone.)
Accessories
Standard accessories
• One charge of working fluid (ULVOIL D-11)
• One set of gaskets
• Water cooling baffle, flange, hose nipples for cooling water connection, bolts and nuts are optional.
*1 Ultimate pressure is measured with an ionization vacuum gauge.
*2 Several kinds of working fluid are available.
*3 Fore pumps are selected corresponding to maximum throughput Q. In practice, however, mechanical booster pumps or oil rotary pumps having a larger capacity as fore pumps are generally used for shortening the rough time of the vacuum chamber being evacuated. Alternatively, a smaller separate backing pump can be used just for the diffusion pump.