产品详情
简单介绍：
日本爱发科ULVAC 干泵 DIS：
●大排気量でコンパクトサイズ
●ドライ型真空ポンプとしては、*高レベルの到達圧力
●エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止
详情介绍：
日本爱发科ULVAC 干泵 DIS：
真空ポンプ（ドライ真空ポンプ） アルバック機工株式会社
スクロール型ドライ真空ポンプ DISシリーズ
日本爱发科ULVAC 干泵 DIS【特 長】
●大排気量でコンパクトサイズ
●ドライ型真空ポンプとしては、*高レベルの到達圧力
●エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止
Vacuum Pump ULVAC KIKO, Inc.
Scroll Type Dry Vacuum Pumps DIS Series
Features
• Double wrap type scroll pump which consists of 1 orbiting and 2 fixed scrolls.
• Operation from atmospheric pressure is possible.
• High ultimate pressure level is attainable
• Low vibration and low noise.
• Maintenance cycle can be controlled by hour meter.
Applications
• Analytical equipment.
• Gas recovery system.
• Coating equipment.
• Back pump for TMP.
• Helium leak detector.
• Manufacturing process for semiconductor.