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| 文件名称： | [论文]净化厂房的颗粒控制 |
| 公司名称： | 深圳市太平洋仪器设备有限公司 |
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摘自微电子技术 摘要： 要获得10级或1级的净化间，不仅在IC的生产中要注意颗粒控制，而且在净化厂房的建造和设计过程中也要注意颗粒控制。 净化间包含了一个复杂的环境控制系统。因为，它几乎受到任何事情的影响，人们可以通过以下几方面的工作来增强对净化的认识，又如，厂房总体设计及设备平面布置，远程的化学药品分配，厂房动作细则，无纸化记录系统，净化间的监测，附加垫，空气吹淋器和鞋刷的使用，以及清洁规程。 首先，让我们来讨论一下为确保污染的控制而建造一间净化间有关的因素： 一， 厂房建造方案 二， 净化间的设计 三， 设备平面布置 四， 补充空气 五， 远程化学药品分配 六， 厂房管理细则 七， 无纸张化记录 八， 净化间的监控 九， 附加垫 十， 空气吹淋 十一，净化室的清洁 |
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