摘要: 本文仅以微电子工业的发展对空气洁净技术提出的要求为中心, 介绍了国外在分子态化学污染控制, 高洁净度微环境控制, 新型洁净产品开发以及大型洁净室运行节能等方面, 在近几年中的技术发展.

1, 微电子工业促进了洁净技术的发展

2, 分子态化学污染物质的控制

3, 几种有关特殊过滤技术

4, 微环境控制和SMIF隔离技术

5, 空气净化设备的开发

6, 地球环境时代的洁净室设计与运行 \

7, 结语

当前我国正大力发展微电子工业, 上海, 北京等地已出现投资集成电路的好势头, 上海中芯公司投资15亿美元, 建设月投资8英寸4.2万片的生产线, 上海宏力公司投资16亿美元, 建设月投8英寸硅片4万片的生产线, 天津Motorola公司8英寸线已试运行, 北京信创公司6英寸线, 上海贝岭公司6英寸线, 杭州士兰公司6英寸线都在前期工作, 上海规划" 十五"建成10条8英寸以上的生产线, 北京规划要逐步建成20条生产线. 这对国内微电子工业的发展提供了很大的动力, 同时给国内洁净技术的发展也提出了新的要求, 吸收和消化国外先进技术是提高国内洁净技术水平必不可少的一个环节.