型号
TESA HITE350
TESA HITE600
MICRO
HITE900
HITE+M900
HITE+M350
HITE+M600
测量范围mm
350
615
920
365
*大应用范围 mm
745
995
1300
*大误差(L in m)
15µm
20µm
(2+3L)µm
(3+1.5L)µm
(2+1.5L)µm
重复性µm
5µm
5
≤2
≤0.5/1.0
垂直误差µm
-------
0
11
9
7
一维参数测量µm
√
直径测量
垂直测量
角度测量
二维参数测量µm
SPC功能
马达驱动