1.热式气体质量流量计起源于美国，恒功率式与恒温差式分别自上世纪60年代、70年代开始出现，
2.一个发展路线起源于热式流量开关（Thermal flowswitches），热式流量开关用于检测油田上油水混合的输油管线中是否有混合物的流动。FCI公司（Fluid ComponentsInternational）的创始人麦克-马克奎恩（Mac McQueen）和鲍博-迪恩（BobDeane），在1964年，美国一家石油公司的现场需要判断冬季的输油管线中的油水混合物是流动还是冻结着，麦克-马克奎恩（MacMcQueen）和鲍博-迪恩（BobDeane）开发了热式流量开关以解决上述问题，同时他们的热式流量开关根据用户的需要可以提供一个精度不高的百分比的流量指示输出，到了1981年FCI公司正式推出基于恒功率原理的热式流量开关技术，与现代成熟的电子技术结合的热式流量计。
3.另一个发展路线是将专线式风速计技术应用于工业环境下（在此之前专线式风速计**于实验室环境使用），约翰-欧林博士以及杰瑞-Kurz博士（Dr. John Olin ａnd Dr. Jerry Kurz）, SierraInstruments的创始人.在麦克-马克奎恩（Mac McQueen）和鲍博-迪恩（BobDeane）开发了热式流量开关的同一时期，John Olin ａnd JerryKurz在斯坦福大学的一个研究项目的同事，在实验室中采用Thermo-Systems Inc.（TSI）的专线式风速计（hot-wire anemometers）用于实验项目中。 那时，TSI是世界上为数不多的为实验研究领域生产专线式风速计（hot-wireanemometers）的公司之一。专线式风速计作为热式流量计的一种，*早起源于1900s，用于测量流体剖面的流速，有响应速度快的优点，传感器小、易碎，不适合在工业场合应用。几年后，约翰-欧林博士以及杰瑞-Kurz博士（Dr. John Olin ａnd Dr. JerryKurz）从斯坦福大学毕业，加入在明尼苏达州的TSI公司工作，从1968年到70年代早期，两人一直在TSI开发部门工作，主要研究HAVC领域的风速仪。后来，他们离开了TSI公司，开始在一起研究自己的热式气体质量流量计，他们清楚专线式风速计不适合在工业场合应用。早期的产品是空气风速仪和风速传感器，以及空气取样产品，这就是SierraInstruments的初期产品基础。Sierra Instruments在1973年成立于明尼苏达州。1975年SierraInstruments自明尼苏达州搬到加利福尼亚州，合作了几年后，1977年两人分家，约翰-欧林博士保留SierraInstruments以及空气取样产品，杰瑞- Kurz博士成立了KurzInstrument，并得到了原公司的空气风速仪和风速传感器产品。
4.到了上世纪90年代的早期，美国国家环保局采用CEMS测量污染物的大气排放量（SOX、NOX等），传统的单点流量测量不能满足要求，热式有不易堵塞的特点，出现了多点热式流量测量系统（Multipointthermal flowmeters），有些系统达到了16个测量点。