“合肥市非常有眼光，引进这样一项******的项目。”昨天，两位中国工程院院士张钟华、叶声华，在合肥为中国首台高精度“光刻机”做鉴定并高度“喝彩”。
张钟华院士在刚刚落幕的２００７年国家科技奖励大会上获得国家科技进步一等奖，他与叶声华院士分别是国内**的精密电磁测量专家和测试计量技术及仪器专家。受合肥市邀请，昨天他俩来肥领衔为中国首台高精度“光刻机”进行技术鉴定（该“光刻机”本报曾多次做过**报道）。９人专家组为该机做出高度评价：“产品*******，整体技术在同类产品中达到国际先进水平，标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面被打破。”
昨天下午，两院士在合肥经济开发区“光刻机”鉴定新闻发布会上盛赞合肥市政府和领导的眼光，“合肥市领导非常有远见，在该项目实施初期就意识到它的重要性和高科技性，慧眼把光刻机这样的先进技术引到合肥。这样的技术不仅******，而且对创造经济价值和社会效益都具有非常大的意义。”
据悉，２００５年，来自美国硅谷的５名投资创业者来到合肥，投资研发国内首台直写式“光刻机”。去年１１月底，该机成功面世。
据介绍，该项目之所以重大**，是因为“光刻机是生产芯片的*关键设备，由一片空白的晶圆成为一块电子元器件，其中所有的电路图案都是由光刻机制作的”。我国目前已成为全球*大的集成电路消耗国，据统计，所用集成电路占全球的２４％以上，但集成电路国内市场自给率却少于１０％，故而光刻机被国家“十一五”发展规划明确定义为重点制造装备。
据悉，在合肥制造的直写式光刻机分辨率达到亚微米级，在主要性能指标分辨率等方面，与目前在此领域先进的日本和德国同类产品相比，处于****水平，而该机的价格不到国外的１／３。