客户选购FFU产品规范流程

概述：

1. 工程范围：设备采购及安装。

2. 主要参数：

尺寸：1200mm*600mm

风机：EBM交流风机

滤网效率：

核心区：MPPS效率≥99.99995%（@0.12μm）。

支援区：MPPS效率≥99.9995%（@0.12μm）。

3. 验收条款：

  配合洁净室第三方认证 。

4. 厂商需提供公司实绩(半导体、TFT面板厂等相关产业).

5. 厂商需提供公司年营业额。

6. 厂商需提供售后服务计划。

7. 厂商需提供产品交期及施工期。

8. 厂商需提供报价。

一．FFU产品要求：

1.风机和超高效(高效)过滤器安装在锌铝合金涂层钢板的机壳里。

2.尺寸大小适合1200x600mm 的吊顶骨架

3.面风速范围：0.45m/s±0.1 m/s

4.机外余压： 100Pa@0.45 m/s

5.工作台上方600mm*大单机噪声≦52dB(A) @0.45 m/s，整体噪音需通过洁净室第三方证。

6.风机采用EBM交流风机,风机连续使用寿命不小于50000小时

7.FFU在0.45m/s风速运行时，过滤器阻力不能高于130Pa。 

8．FFU箱体不能贴任何消音棉，以避免以后产生挥发性物质影响产品品质。

9. 高效过滤器效率：

核心区：MPPS效率≥99.99995%（@0.12μm）。

支援区：MPPS效率≥99.9995%（@0.12μm）。

10．滤纸使用进口（H&V、北越、lydall等）滤纸，以保证品质。

11.机箱结构：四角受支撑后，可承受大于80kg的重量站立在装置的上方。

12.五档调速控制。

二．FFU验收要求：

    配合洁净室第三方认证。