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技术文章
洁净室专业术语(1)
2.0.1
洁净室
clean room
空气悬浮粒子浓度受控的房间
.
它的建造和使用应减少室内诱入
,
产生及滞留
粒子
.
室内其它有关参数如温度
,
湿度
,
压力等按要求进行控制
.
2.0.2
洁净区
clean zone
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间
.
它的建造和使用应减少空间内诱入
,
产生
及滞留粒子
.
空间内其它有关参数如温度
,
湿度
,
压力等按要求进行控制
.
洁净区
可以是开放式或封闭式
.
2.0.3
移动式洁净小室
clean booth
可整体移动位置的小型洁净室
.
有刚性或薄膜围档两类
.
2.0.4
人身净化用室
room for cleaning human body
人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间
.
2.0.5
物料净化用室
room for cleaning material
物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间
.
2.0.6
粒径
partical size
由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径
.
对离散粒子计
数
,
光散射仪器采用当量光学直径
.
2.0.7
悬浮粒子
airborne particles
用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在
0.1
~
5μm
的固体和液体粒
子
.
2.0.8
超微粒子
ultrafine particle
具有当量直径小于
0.1μm
的粒子
.
2.0.9
微粒子
macroparticle
具有当量直径大于
5μm
的粒子
.
2.0.10
粒径分布
particle size distribution
粒子粒径频率分布和累积分布
,
是粒径的函数
.
2.0.11
含尘浓度
particle concentration
单位体积空气中悬浮粒子的颗数
.
2.0.12
洁净度
cleanliness
以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度
.
2.0.13
气流流型
air pattern
对室内空气的流动形态和分布进行合理设计
.
2.0.14
单向流
unidirectional airflow
沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流
.
2.0.15
垂直单向流
vertical unidirectional airflow
与水平面垂直的单向流
.
2.0.16
水平单向流
horizontal unidirectional airflow
与水平面平行的单向流
.
2.0.17
非单向流
non-unidirectional airflow
凡不符合单向流定义的气流
.
2.0.18
混合流
mixed airflow
单向流和非单向流组合的气流
.
2.0.19
洁净工作区
clean working area
指洁净室内离地面高度
0.8
~
1.5m
(
除工艺特殊要求外
)
的区域
.
2.0.20
空气吹淋室
air shower
利用高速洁净气流吹落并**进入洁净室人员表面附着粒子的小室
.
2.0.21
气闸室
air lock
设置在洁净室出入口
,
阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间
.
2.0.22
传递窗
pass box
在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口
.
两侧装有不能同时开启的窗
扇
.
2.0.23
洁净工作台
clean bench
能够保持操作空间所需洁净度的工作台
.
2.0.24
洁净工作服
clean working garment
为把工作人员产生的粒子限制在*小程度所使用的发尘量少的洁净服装
.
2.0.25
空态
as-built
设施已经建成
,
所有动力接通并运行
,
但无生产设备
,
材料及人员
.
2.0.26
静态
at-rest
设施已经建成
,
生产设备已经安装
,
并按业主及供应商同意的状态运行
,
但无
生产人员
.
2.0.27
动态
operational
设施以规定的状态运行
,
有规定的人员在场
,
并在商定的状况下进行工作
.
2.0.28
检漏试验
leakage test
检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等的密封性试验
.
2.0.29
高效空气过滤器
HEPA(high efficiency particulate airfilter)
在额定风量下
,
对粒径大于等于
0.3μm
粒子的捕集效率在
99.9%
以上及气流阻
力在
250Pa
以下的空气过滤器
.
2.0.30
超高效空气过滤器
ULPA(ultra low penetration airfilter)
在额定风量下
,
对粒径
0.1
~
0.2μm
粒子的捕集效率在
99.999%
以上及气流阻力
在
280Pa
以下的空气过滤器
.
2.0.31
纯水
purity water
对电解质杂质含量
(
常以电阻率表征
)
和非电解质杂质
(
如微粒
,
有机物
,
**和
溶解气体等
)
含量均有要求的水
.
2.0.32
防静电环境
ESD controlled environment
能防止静电危害的特定环境
,
在这一环境中不易产生静电
,
静电产生后易于消
散或消除
,
静电噪声难以传播
.
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