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日本精工研发出真空清洁N系列薄壁轴承

日本精工研发出真空清洁N系列薄壁轴承。日本精工研制开发出“真空清洁N系列薄壁轴承”,应用于半导体制造装置的真空搬运机器人。N系列薄壁轴承的研制开发,进一步扩大了特殊应用环境轴承产品系列。
该产品用于真空搬送机器人的躯体以及手臂关节部位,其特点一是通过改良润滑剂(V-DFO)实现了挥发气体比封入高真空润滑油的商品低三分之一以下、持久性比氟化乙烯树脂被膜商品提高20倍;二是采用低排气量、耐高温树脂保持架,消除了以前由于金属保持架磨损所产生的润滑剂的劣化;三是采用耐久性高的氮化硅滚珠,提高了薄膜润滑下的耐久性;四是内、外轮采用NSK独自开发的不锈钢,和以前相比具有10倍的耐腐蚀性。
日本精工预定首先从4点接触球轴承NBX型(2005年3月末)系列化生产该产品,然后是角接触球轴承NBA型。生产规格为内径25mm~210mm,滚沟尺寸4、6、7mm三种。

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