住友直立型臭氧发生器 GRC Series

住友直立型臭氧发生器

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产品名称：住友直立型臭氧发生器
产品型号：GRC Series
产品展商：其它品牌
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简单介绍

住友直立型臭氧发生器住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。住友直立型臭氧发生器

产品描述

住友直立型臭氧发生器

住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。

住友直立型臭氧发生器

应用：

1. 半导体器件

2. Si/复合晶圆

3. FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）

4. 光罩

5. 发光二极管

具体规格

臭氧气体流速

1L/min to 24L/min
[at 210g/m3(N)]

臭氧气体供应压力

*大0.2MPa

冷却水温度

20°C±2°C

氮掺杂比

0.1%(volume)against oxygen

尺寸

W483mm x D453mm x H266mm

重量

30 到 45kg

功率

200-220VAC, 3-phase

特征：

高浓度；高达400g/m3（N）

19英寸机架尺寸标准型号

丰富的产品线；小容量到大容量

高压耐受，长寿命放电单元

快速启动，快速响应

与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度

CE、NRTL、半标准适用

管道材料；从316LSS或PFA中选择

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