住友臭氧发生器 GR系列

住友臭氧发生器

简单介绍

住友臭氧发生器住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。住友臭氧发生器

产品描述

住友臭氧发生器

住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。

住友臭氧发生器

应用：

半导体器件

Si/复合晶圆

FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）

光罩

发光二极管

具体信息：

臭氧气体流速

210g/㎥(N)

臭氧气体供应压力

1L/min～14L/min

冷却水温度

20°C±2°C

尺寸

W483× H266× D454

冷却水流量表

1～10L/min

功率

AC200V 3-phase

优势

19英寸机架尺寸标准型号

内部气体流量和压力传感器

19英寸背包尺寸

与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度

高压耐受，长寿命放电单元

快速启动，快速响应

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