住友臭氧发生器
应用：
半导体器件
Si/复合晶圆
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
光罩
发光二极管
具体信息：
溶解臭氧浓度
5 to 150ppm
臭氧化超纯水流量
1 to 90L/min
原料气
氧、氮、二氧化碳
功率
200-220VAC, 3-phase
优势
臭氧溶解单元的安装使其能够在管道输送过程中防止臭氧溶解浓度的下降。
Contribute to reduction of foot print.（One ozone generator supplies ozone gas to multi dissolution units.）
高浓度，大流速
低运行成本（低功耗，小部分消耗，长寿命周期放电细胞）
高压耐受长寿周期放电细胞
稳定浓度（闭环控制）
关闭时维护自由
无臭氧水
苏公网安备 32028102000820号
