住友臭氧水装置
住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视。
应用： 半导体器件 Si/复合晶圆 FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED） 光罩 发光二极管 具体信息：
臭氧气体流速
300g/㎥(N)
臭氧气体供应压力
140L/min、175L/min、210L/min（200g/㎥(N))
冷却水温度
20°C±2°C
尺寸
W700×D900×H2,154 (140L/min)
冷却水流速比
>48L/min
功率
AC200V 3-phase
优势：
高流量；高达210 l/min
高压耐受，长寿命放电单元
快速启动，快速响应
与臭氧监测仪（闭环控制）集成的稳定浓度
住友臭氧水装置 住友的臭氧发生器采用平板式放电电池，通过电力将氧气转化为臭氧。放电室由高纯度陶瓷组成，以防止金属污染达到极低水平。臭氧浓度超过400g/（n），是市场上的上等产品。在半导体、FDP等电子器件材料的干湿加工过程中受到了众多客户的高度重视 住友臭氧水装置
苏公网安备 32028102000820号
