聚酰亚胺/纳米碳化硅复合薄膜的制备及性能研究
以均苯四甲酸二酐、4,4'－二氨基二苯醚、N,N'－二甲基乙酰胺为原料，经化学合成反应制备了聚酰亚胺/纳米碳化硅复合薄膜。采用红外光谱(FTIR)、透射电子显微镜（TEM）、阻抗分析仪等手段表征了材料的结构及介电性能。结果表明，该复合薄膜的介电常数比纯聚酰亚胺和碳化硅均显著降低，吸水率下降。这种材料有望替代聚酰亚胺/二氧化硅复合材料，作为低介电常数的微电子介质材料。