真空度测试仪均采用基于电离电荷的采样技术。我公司专家在磁控放电的研究中发现:在外激励电源、真空灭弧室的几何尺寸、所用材料一定时,真空灭弧室内的真空度与电离的电荷量有非常准确的对应关系,而与电离电流的峰值仅有概率上的相关性。
该真空度测试仪采用两次采样的方法扣除由于环境因素产生的漏电电流,并且在测量过程中考虑了完全漏气的真空灭弧室的判别,真正做到了对安装于整机上的真空灭弧室的准确计量。目前,该仪器中已存有35条真空灭弧室的测量标准曲线,涵盖了国内外绝大多数管型。该真空度测试仪质量可靠,造形美观,使用方便。因此,我公司开创了基于电离电荷的采样技术,显著提高了真空灭弧室的真空度计量的准确性。
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