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三坐标测量机-激光干涉法测距原理
三坐标测量机-激光干涉法测距原理
根据光的干涉原理，两列具有固定相位差，而且有相同频率、相同的振动方向或振动方向之间夹角很小的光相互交叠，将会产生干涉现象
。由激光器发射的激光经分光镜
A
分成反射光束
S
1
和透射光束
S
2
。两光束分别由固定反射镜
M
1
和可动反射镜
M
2
反射回来，两者在分光镜处汇合成相干光束。若两列光
S
1
和
S
2
的路程差为
N
λ
(
λ
为波长，
N
为零或正整数
)
，实际合成光的振幅是两个分振幅之和，光强*大。当
S
1
和
S
2
的路程差为
λ
/2(
或半波长的奇数倍
)
时，合成光的振幅和为零，此时光强*小。
激光干涉仪就是利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条纹，由光电转换元件接收并转换为电信号，经处理后由计数器计数，从而实现对位移量的检测。由于激光的波长极短，特别是激光的单色性好，其波长值很准确。所以利用干涉法测距的分辨率至少为
λ
/2
，利用现代电子技术还可测定
0.01
个光干涉条纹。因此，用激光干涉法测距的精度极高。
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