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洁净室作业人员的微污染控制原则
【提要】
洁净室洁净程度的维持和控制,除了硬件设备配合投资外,也需要良好的软件--管理制度来配合,方能维持良好的洁净度。
半导体洁净室内的微污染来源,经测试分析结果,作业人员占约80%,如图1所示。实验数据显示,作业人员进出洁净室时尘埃有显著的增加,有人动作时,洁净度马上劣化,可见洁净度劣化之原因,人是主要因素。
图1:微尘产生类别比较
洁净室运转管理,可依作业人员、原物料、设备及洁净室内所用东西等加以探讨,并依计划(Planning)、实施(Doing)、追踪(Checking)、动作(Action)之PDCA循环步骤执行。
洁净室运转管理*关键的环节是作业人员的管理。前已提及在洁净室内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员依洁净室管理办法确实执行管理,而所有人员也均能配合实施,则污染源的产生可说已减少大半。现就进入洁净室的作业人员管理和注意说明如下:
(1)进入洁净室之人员,必须具有达成高洁净度标准,并要维持*好状态的观念。这就需要加强作业人员污染控制方面的知识培训,强化其污染控制理念。
(2)作业人员进入洁净室数目以维持*小限度为原则(愈小愈好),并须依洁净室进出标准流程进出洁净室。出则相反方向进行,但不需经风淋室脱尘处理
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