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無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建築。一般而言，無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。
無塵室依等級的不同，對一定空間內的微塵粒子大容許量亦有一定規範，在國際標準中常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644，以下表格為Fed-Std-209E及ISO-14644的等級定義。
※Fed-Std-209E潔淨度定義
※ISO-14644潔淨度定義
ISO的等級劃分，首先定義了微粒的粒徑是從 0.1mm到5mm，在此範圍之外就不列入等級表，但是另定義有超微粒子與超大粒子針對範圍外粒子。ISO 等級本身歸類為 ISO Class 1 到ISO Class 9，其允許上限的定義是大於等於該粒徑的微粒數，數目字如下表，單位是每立方公尺的微粒數。
比較以上兩表我們可看出：